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蘇州施密科微電子設備有限公司

企業介紹

蘇州施密科微電子設備有限公司成立于2017年，是一家集研發，生產，銷售為一體的濕法制程設備制造商。秉承“以人為本、精益求精、品質卓越、合作共贏”的經營理念，以優質的生產工藝、超高的品質控制、精細的設備管理，服務于晶圓襯底材料，化合物半導體、SAW、IGBT、MEMS、先進封裝等多個領域。

聯系方式

單片式濕法蝕刻設備

單片式濕法蝕刻設備

項目數據
適用圓晶尺寸汥見鋝腐咯僦菁牮展拭?朩師8”晶圓 
腔體數量

2EA,4EA,8EA可選

片盒2EA,4EA Open Cassette或 (or) Load Port
ROBOT雙手臂傳送,防止交叉污染
Chuck機械夾持式/真空吸附式
蝕刻硅、氧化硅、銅、鈦、等金屬刻蝕
干燥方式Spin dry;N2 spin dry
顆粒<10ea @0.3μm
金屬離子All Metal<2.5E10 atoms/cm2
蝕刻均勻性<5%
設備稼動率>98%
設備外觀9002白色(White)PVC
設備尺寸2100mm(L)*2100mm(W)*2300mm(H)
通訊協議

支持(Support) SECS/GEM&MES

其他產品