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蘇州施密科微電子設備有限公司

企業介紹

蘇州施密科微電子設備有限公司成立于2017年，是一家集研發，生產，銷售為一體的濕法制程設備制造商。秉承“以人為本、精益求精、品質卓越、合作共贏”的經營理念，以優質的生產工藝、超高的品質控制、精細的設備管理，服務于晶圓襯底材料，化合物半導體、SAW、IGBT、MEMS、先進封裝等多個領域。

聯系方式

全自動單片清洗設備

全自動單片清洗設備

項目數據
應用領域RCA清洗,沉積前清洗,蝕刻后清洗,CMP后清洗,濕法刻蝕,EPI前清洗等
設備配置

4~16腔體(可定制)

支持2~4個CST/SMIF/FOUP上下料

支持化學液自動供液CCSS,LCSS

加熱控制,濃度控制,流量控制,壓力控制等;

酸、堿、有機液排風分離;

支持化學液回收;

高清攝像頭，E-FLOW(可選);

全面支持SECS/GEM通訊協議

晶圓尺寸100MM~300MM
工藝指標蝕刻均勻性:片內:<3%;片間:<3%;批次間:<3%;
顆粒控制增加輻層值<20顆@0.2微米(帶氧化硅膜測試,來料顆粒<50顆)
金屬離子<5E9 ATOMS/CM2

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