全自動有機去膠清洗機
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| 項目 | 數據 |
| 適應工件 | 8-12寸晶圓片去膠清洗 |
| 批量產能 | 8~12寸13/25pcs/批 |
| 工藝流程 | FOUP→EFM→去膠→IPA→QDR →QDR→DRYING→EFM→FOUP |
| 主要材料 | SUS骨架+SUS殼板,槽體采用SUS316L石英/PVDF/PTFE材質 |
| 運送方式 | 機械臂傳送 |
| 節拍時間 | 依工藝5~10min可調 |
| 工藝效果 | 去膠效率≥99% |
| 其他說明 | 此設備可根據客戶要求定制手動/半自動 |