展商風采丨蘇州施密科微電子設備有限公司
關于施密科
蘇州施密科微電子設備有限公司位于以“人間天堂”、“園林之城”而聞名天下的蘇州,公司成立于2017年,是一家集研發,生產,銷售為一體的濕法制程設備制造商;服務于晶圓襯底材料、化合物半導體、SAW、IGBT、MEMS、先進封裝等多個領域。
公司核心團隊均由十年以上從業經驗的行業精英組成,擁有豐富的半導體行業高端項目經驗;目前我司已與國內外多家知名企業展開合作,憑借先進的研發技術、精尖的人才梯隊和豐富的產品線,贏得了客戶的一致好評及信賴。
產品介紹
全自動RCA清洗機
應用領域:集成電路 硅片 碳化硅 硅部件 氮化鎵 砷化鎵 InP LN/TN等化合物襯底片及外延片 RCA清洗
設備特點:
一體式人機操作系統,連續式自動化生產,工作效率高,節約人工成本;
軟件與硬件為模塊化設計;
馬蘭戈尼干燥破片率低,潔凈度高;
采用PC+PLC控制,支持GEM/SECS接口;
具有數據存儲功能,供用戶使用讀取。
全自動拋光后清洗機
應用領域:集成電路 晶圓片8/12硅片 碳化硅 氮化鎵 砷化鎵 InP LN/TN等化合物襯底片拋光后清洗
設備特點:
整機清洗部分為全封閉結構,裝有可拆卸觀察檢修門及監控系統;
專用排風及排廢系統,提高設備安全性;
槽體采用流場控制技術,循環分流控制;
設備占地面積小;
各工序參數可于PLC觸摸屏內直接設定,操作簡單。
全自動研磨后清洗機
應用領域:集成電路 晶圓片8/12硅片 6/8碳化硅 硅部件 LN/TN 砷化鎵等化合物襯底片和研磨后清洗
設備特點:
設備帶有MES功能,優質PP框架,全封閉結構;
觸摸式人機交互界面,全自動控制系統;
自主知識產權的軟件系統;
生產數據實時記錄,具有多種數據分析及存儲功能;
部件采用知名品牌,性能可靠,使用壽命長,故障率低。
拋光液供液系統
應用領域:集成電路(IC)和超大規模集成電路(ULSI)中對基體材料硅晶片的拋光液集中混配和集中供液
設備特點:
可實現拋光液原液供給,原液到混配供給,原液到混配到多路分配供給;
混液可配置自循環,電機攪拌,比重計,PH計,溫度計,濃度計等功能;
采用耐腐蝕導線并通過耐腐蝕PE管進行保護,防腐防水;
配有接地裝置及緊急關機和報警系統。
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